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RSE是一種特殊類型的橢偏儀，它通過將參比樣品和被測樣品進行比較，測量它們之間的差異從而對被測樣品進行橢偏分析。在測量過程中沒有任何需要轉(zhuǎn)動或者調(diào)制的光學(xué)部件，并且可以在單次測量中獲得完整的、高分辨率的光譜橢偏數(shù)據(jù)。通?？擅棵氩杉?00個光譜數(shù)據(jù)。通過配備同步的XY二維自動樣品臺可以在數(shù)分鐘內(nèi)測量獲得大面積樣品的薄膜厚度分布圖。參考光譜橢偏儀薄膜和表面的快速檢測
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